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真空泵选型要注意的事项
2021年10月22日

1、真空泵的工作压力应满足真空设备的真空和工作压力要求。例如:某一真空干燥工艺要求10毫米汞柱的工作真空,选择真空泵至少要有2毫米汞柱,好是1毫米汞柱。一般选用的泵限真空度比真空设备工作真空度半至一个数量级。
2、正确选择真空泵工作点。每台泵都有一定的工作压力范围,如:2BV系列水环真空泵工作压强范围为760mmHg~25mmHg(绝压),在这样的宽压强范围内,泵的抽速范围为:2BV系列水环真空泵工作压强范围为760mmHg~60mmHg。因此,泵的工作点应选择在该范围内较适宜,而不应在25~30mmHg条件下长期工作。
真空泵在其工作压力下,应能排出真空设备工艺过程中产生的所有气量。
4、真空泵的正确组合。因为真空泵具有选择性抽气,所以,有时选择一种泵不能满足抽气的要求,需要几个泵组合在一起,相互补充才能满足抽气要求。例如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型离子泵(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,这两者结合,就会使真空装置得到较好的真空度。此外,有些真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有些真空泵的出口压强低于大气压,需要前级泵,故需将泵合并使用。
真空设备对油的污染要求。如果设备严格要求不用油,应该选择各种类型的无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射泵、低温泵等。若要求不严格,可选用带油泵,再加上一些防油污染措施,如加冷井、隔油井、隔油井等,也可达到洁净真空要求。
6、了解所抽气体的成分,气体中含有不含凝析气、无微粒灰尘、有无腐蚀性等。选用真空泵时,要了解气体的组成,针对抽气选择相应的泵。若气体中有蒸汽、微粒、腐蚀性气体,则应考虑在泵的进、出口管道上安装冷凝器、除尘器等辅助设备。
7、真空泵排出油蒸汽对环境有什么影响。如环境不允许受到污染,可选择无油真空泵,或将油蒸汽排放到室外。
真空泵在工作时产生的振动对其工艺过程和环境有无影响。在工艺不允许的情况下,应选用无振动泵或采取防振措施。
9、真空泵的价格、运行和维护费用。